Hızlı Tavlama Sistemi (RTA)

Çeşitli gaz ortamlarda (N, Ar vb.) sahip olduğu lambalı ısıtıcı ile yüksek sıcaklıklara (1000 ˚C) hızla çıkabilen ve ayrıca hızla soğumaya da imkan tanıyan bir tavlama fırınıdır. Sisteme bağlı Turbo Moleküler pompa ile tavlama işlemi 10^-8 mbar mertebelerinde gerçekleştirilebilmektedir.