Maske Hizalama Sistemi (MJB4)

Yarıiletken malzemeler, yüksek frekanslı bileşimler ve standart olmayan tabanlar için MJB4 model maske hizalama sistemi, çeşitli opto-elektronik cihazların fabrikasyonu ve MEMS uygulamaları için kullanılmaktadır. Kalınlığı 0,1 mm’den 0,7 mm’ye kadar 2”, 3” ve 100 mm çapında dilimlere yumuşak, sert ve vakum kontağı yapabilecek tutuculara sahiptir.  Malzemenin boyutu, yüzey düzlüğü ve temiz oda şartlarına bağlı olarak; vakum kontak modu için: <0.8 μm, yumuşak kontak modu için: 2.0 μm ve sert kontak modu için 1.0 μm çözünürlüğe sahiptir.

Maskeleme işlemlerinde dilimlerin fotorezist kaplamaları için spin kaplama sistemi de mevcuttur.