Derin Seviye Transiyent Spektroskopisi (DLTS)

Yarıiletken teknolojisinin önemli bir hedefi de, yarıiletken cihazların tek-kristal katmanlarında kendiliğinden ve büyütme sebepli oluşan kusurların azaltılmasıdır. Kusurlar, safsızlıklardan, bölge sınırlarından, arayüzeylerden ve benzeri sebeplerden oluşurlar ve serbest elektron ve deşikler için birer tuzak görevi görürler. Düşük sayılarda olsalar bile cihaz performansında önemli bir düşmeye yol açarlar. Nanoteknolojik yöntemlerle yapılmış olan Kuvantum etkilerinin görüldüğü cihazlarda da bu kusurlar önemli tuzaklar olarak davranmaktadır.

Derin Seviye Sönüm Spektroskopisi (DLTS), yetkin bir derin seviye ölçüm yöntemidir. Serin seviyelerle ilişkin derin seviye yoğunluğu, termal kesit, enerji seviyeleri ve uzaysal dağılım gibi önemli parametreler hakkında bilgi verir. Bir yarıiletken kavşaktaki kapasitans ya da akım sönümlerini farklı sıcaklıklarda ölçerek bir spektrum oluşturulur. Spektrumda ki her bir pik derin bir seviye ile ilişkilidir. Pikin boyu, tuzak yoğunluğu ve işareti önemli bir tuzak mı olup olmadığını belirtir. Sıcaklık ekseni ise termal emisyon ve yayımlama bilgisi verir. Sistem, Sula Technologies firmasının üretmiş olduğu bir Derin Seviye Kısa Süreli Spektroskopisi cihazıdır.