X-ışını Kırınım (XRD) Sistemi

YÜKSEK ÇÖZÜNÜRLÜKLÜ X-IŞINI DİFRAKTOMETRESİ (HRXRD)

Yüzey ve ara yüzeylerden gelen toplam x-ışınlarının yansımasına dayanır. İnce film ve çok katmanlı yapıların kalınlıkları, yoğunlukları ve pürüzlülükleri hakkında bilgi sağlar. Ayrıca amorf, kristal, organik ve organik olmayan filmler için de kullanılabilir. 5 Å ve 400 nm arasında tabaka kalınlıkları ve 0-20 Å arasında yüzey pürüzlülükleri için iyi sonuç verir.Yüksek çözünürlükte X-Işını kırınımı, yüksek oranda kristal materyallerden bilgi almak için kullanılır. Epitaksiyel tabaka, kalınlık, bileşik yüzdeleri ve örgü bozuklukları hakkında bilgi edinilir. Slit ve solar sistemler ile  ölçümleri yapılır. Cihaz, tek veya çok tabakalı yapıların, toz ve hatta yatay durumda bulunan tutucunun dikey getirilmesi durumunda sıvıların yapısal incelemesinde kullanılır. Cihaz yüksek çözünürlükte Ge 022 yönelimli monokromatöre sahiptir. Sistemin kurulumunda bir NaI dedektör, CuKalpha1 (1.54 Å) kaynak, farklı durumlar için solar ve slit sistemleri kullanılır. Yüksek duyarlıkta, ince filmlerin yükseklik ayarı yapılır. Sistem radyasyondan korunma için kurşun süzdürülmüş cam koruma içine yerleştirilmiştir.