Vakum Termal Buharlaşma Sistemi

Laboratuarımızda maksimum 1” çaplı numunelere metal kaplamada kullanılan buharlaşma sistemi bulunmaktadır. Buharlaştırma işlemi, turbo moleküler pompa ile 10^-7 mbar basınca kadar inildikten sonra gerçekleştirilmektedir. Sistem numuneleri, Au, Pt, Ni, Al gibi farklı metallerden her işlemde 4 adedini kaplayabilecek biçimdedir. Ayrıca buharlaştırma işlemi esnasında numuneler ısıtılabilmekte ve büyüme esnasında omik kontak oluşumuna izin verilmektedir. Numune tutacağı dönel olup, buharlaştırma sonrası homojen bir katman oluşmasını sağlar.